本书从当今世界面临能源危机的现实问题出发，深入浅出地介绍了使用磁控溅射方法制备β-FeSi2，薄膜的方法和工艺及太阳能薄膜电池的制备测试结果。全书共分7章，包括绪论、半导体太阳能电池基本原理制备设备与表征设备、β-FeSi2薄膜的制备及特性研究、β-FeSi2薄膜异质结的制备及性能研究、β-FeSi2薄膜电池模拟，β-FeSi2薄膜电池的制备研究等。涉及材料性质的理论研究、制备测试及其实际应用研究，对材料的制备工艺、太阳能电池结构的理论模拟和器件制备工艺，均有一定的阐述，对后来的研究者具有一定的借鉴意义。

本书适合从事半导体太阳能电池及其相关专业的师生使用。也可作为从事薄膜太阳能电池研究的技术人员的参考用书。